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工业应用
DP系列机箱式高压电源
功率(W):3000
最大输出电压(KV):8,10,12,15,20,25,30,40,50,60,70,80,100
1. AC/DC 输出电压100KV,输出功率3kW
2.纹波电压: 0.05%。 温度系数:≤100ppm/℃。
3.稳定度:开机半小时后,每小时0.01%,每8小时0.05%。
3.低起调电压、快速响应、强抗打火
4.过压、过温、拉弧和输出短路保护
5.电压和电流调节功能
6.本地或远程遥控控制
7.安全互锁功能
8.可根据用户要求定制
9.通过SEMI认证
产品介绍

DP 系列3kW高压电源可以输出正高压或负高压,输出范围从 8kV~100kV。DP 高压电源前面板功能齐全方便本地控制,
后面板模拟接口可以进行远程控制,标准网口和RS232数字接口。具有快速响应、上升速度快低电压稳定性高等特点。
具有低纹波、低噪声的灵活数字控和模拟控制、具有稳定的调节和电弧保护功能。DP使用碳化硅等逆变器,适用于各种
苛刻的应用,如半导体制造业,真空沉积。DP高压电源的许多操作功能可以由用户配置,以适应客户特定的要求。
典型应用:
加速器,电容充电,电子束,离子束,离子注入,半导体制造,光刻技术,电子元器件老化,高压绝缘测试,静电应用,
激光,大功率射频发射器,X射线系统,科学实验,工业应用。
可选功能:
200 180 to 220 VRMS,three phase input,48-63 Hz(Required for SEMI compliance)
400 340 to 460 VRMS, three phase, 48-63Hz(Required for CE compliance)
特性说明:
输入:187~264Vac,单相,48~63Hz,最大电流20A
输出: 8kV~100kV最高电压输出可选,3kW输出功率。
稳定度:开机半小时后,每小时0.01%,每8小时0.05%。
纹波电压:0.05%。
温度系数:≤100ppm/℃。
电压电流显示:0~+10Vdc对应0~100%额定电压输出,输出阻抗Zout=10kΩ,精度:±1%。
输出电压内部控制:前面板电位器将电压设置在0~100%额定电压输出。
输出电压外部控制:外部0~10Vdc控制信号可将电压设置在0~100%额定输出输入阻抗Zin=332kΩ
输出电流内部控制:前面板电位器将电流设置在0~100%额定电压输出。
输出电流外部控制:外部0~10Vdc控制信号可将电流设置在0~100%额定输出输入阻抗Zin=332kΩ
电压相对负载调整率:0.01%(空载到额定负载)。
电压相对输入调整率:±0.005%(输入电压变化士10%)。
电流相对负载调整率:0.1%(任何电压变化时额定电流的变化)。
电流相对输入调整率:±0.1%(输入电压变化士10%)
工作温度:-20℃~+40℃。
储存温度:-40℃~+85℃。
湿度:20%~85%相对湿度,无冷凝。
外形尺寸:6.93"Hx19.00"Wx24.00"D(176mmx483mmx610mm)。
重量:25.6kg
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零电流谐振技术,使世界杯竞猜官网高压电源保持高稳定性、低纹波、低电磁干扰、体积小,损耗小,效率高,长寿命。
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VARIAN 【可替换料号】: E19285091