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0.05KV

0.1KV

0.15KV

0.2KV

0.25KV

0.5KV

1KV

2KV

3KV

4KV

5KV

6KV

6W

10W

20W

30W

1. 输出电压高达6KV，输出功率高达30W

2. 低输出纹波和噪声小于0.001% P-P

3. 高稳定性每小时0.001%

4. 低温度系数0.001%每摄氏度

5. 打火保护和短路保护

6. 外部电位器或外部控制电压给定

7. 小尺寸，印刷电路板安装

8. 正极性或负极性输出

9. 六面屏蔽抗干扰性强

10. 提供OEM定制

0.3KV

0.6KV

1KV

1.5KV

3KV

6KV

10KV

15KV

20KV

25KV

30KV

5W

10W

20W

30W

60W

1. 输入DC24V

2. 输出电压最高30KV，输出功率60W

3. 低输出纹波和噪声小于0.001% P-P

4. 高稳定性每8小时0.01%

5. 低温度系数25ppm每摄氏度

6. 打火保护和短路保护

7. 外部电位器或外部控制电压给定

8. 正极性或负极性输出

9. 体积小，外壳六面屏蔽抗干扰性强

10. 提供OEM定制

11.通过欧盟CE认证

25KV

250W

1、电压输入：108-123 Vac
2、输出：0至-25 kV
3、输出电流：10 mA
4、控制：25针脚DB型公接头
5、长x宽x高尺寸（英寸）：19.25 X 9.5 X 4.5

6、保护：过热、过压和欠压保护、电弧检测、短路保护

7.5KV

15W

特点和优势

通过晶圆传感器进行可靠性夹持/释放状态检测

放大器架构设计的快速响应（“无继电器极性反转”设计的高可靠性和长寿命。）

各种卡盘/释放操作的“双通道独立控制（选项）”和“中心抽头电压设置（选项）”

配备LAN、USB、RS-232C数字接口

内置低通射频滤波器 (13.56 MHz)

2KV

13W

提高效率和晶圆吞吐量是普通电源的三倍。 

减少背面气体错误、提高吞吐量并消除晶圆粘滞/爆裂问题；

控制参数，例如过电流、存在晶圆和晶圆钳位阈值、钳位电压、偏移电压和内部或外部振幅/偏移控制；

调整过程中的幅度/偏移和输出控制的多功能性；

使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出；

配置自定义钳位和去钳位序列和波形。

可锁定的前面板控制界面

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术

将静电卡盘配置文件上传并存储到设备，并通过用户友好的软件界面存储在内部

晶圆检测包括无晶圆、存在晶圆或晶圆夹紧状态

3KV

19.5W

提高效率和吞吐量：普通电源的三倍。 

减少背面气体错误、提高吞吐量并消除晶圆粘滞/爆裂问题；

控制参数，例如过电流、存在晶圆和晶圆钳位阈值、钳位电压、偏移电压和内部或外部振幅/偏移控制；

调整过程中的幅度/偏移和输出控制的多功能性；

使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出；

配置自定义钳位和去钳位序列和波形。

可锁定的前面板控制界面

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术

将静电卡盘配置文件上传并存储到设备，并通过用户友好的软件界面存储在内部

晶圆检测包括无晶圆、存在晶圆或晶圆夹紧状态

0.25KV

0.5KV

1KV

2KV

4KV

6KV

30W

40W

50W

60W

1. 2路输出，每输出电压高达6KV，2路总输出功率高达60W

2. 低输出纹波和噪声小于0.001% P-P

3. 高稳定性每八小时0.001%

4. 低温度系数15PPM每摄氏度

5. 打火保护和短路保护

6. 外部电位器或外部控制电压给定

7. 小尺寸，印刷电路板安装

8. 正极性或负极性输出

9. 六面屏蔽抗干扰性强

10. 提供OEM定制

40KV

400W

1.AC/DC 输出电压高达40KV，输出功率400W

2.纹波电压： 0.001% P-P 温度系数：≤25ppm/℃

3.稳定度：开机半小时后每8小时小于100ppm

4.通过欧盟CE认证

5.最大输出电压从1KV~40KV可选择，最大功率400W

6.过压、拉弧和输出短路保护

7.电压和电流调节功能

8.本地或远程遥控控制

9.安全互锁功能

10.可根据用户要求定制

11.高稳定性